技术编号:33367579
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。扫描型探针显微镜.本申请是基于发明名称为“扫描型探针显微镜及其扫描方法”,申请日为年月日,申请号为.的发明专利申请的分案(申请号为.)的分案申请。技术领域.本发明涉及扫描型探针显微镜及其扫描方法。背景技术.以往,公知有如下的扫描型探针显微镜:在恒定地保持形成在悬臂的前端的探针与试样之间的相互作用(例如,悬臂的振幅或悬臂的挠曲)的同时,在试样表面使探针连续地进行扫描,由此来测定试样表面的凸凹形状(参照专利文献)。但是,在专利文...
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