技术编号:3336899
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种沉积多元膜材的共蒸发系统,所述共蒸发系统包括多个蒸发源,每个蒸发源配有蒸发源控制器,同时蒸发源放置于蒸发源封闭体内。所述共蒸发系统还带有蒸气混合室,各个蒸发源封闭体与蒸气混合室之间通过封闭管道连接,连接管道以及蒸气混合室配有加热装置,各个蒸发源与蒸气混合室的连接管道接口处以及蒸气混合室的出气口处安装了可变蒸气过滤器。通过本实用新型可在大面积衬底上制备出厚度及组分均匀的多元化合物薄膜。专利说明一种沉积多元膜材的共蒸发系统 [0001...
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