技术编号:3336903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种抛光垫自动清理装置,包括抛光机定盘,在抛光机定盘上固定有一抛光垫,抛光垫上方设有毛刷盘,毛刷盘中心设有真空孔;毛刷盘上方设有抛光头和贯穿抛光头的真空管道,真空管道的一端设有插头,通过插头与真空孔的配合将真空管道与毛刷盘可拆卸的固定在一起。其毛刷盘中心设有真空孔,不仅便于抛光头抓取毛刷盘,同时能够全面、无死角地清理抛光垫,大大降低抛光过程中抛光垫对晶片的伤害程度。进行清理动作时,毛刷盘的旋转方向与抛光机定盘同向或者反向相对运动,可以更全面...
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