技术编号：3336916
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种直接水冷的矩形平面靶结构，包括冷却池、磁组件及矩形靶，矩形靶密封安装于冷却池的开口端，磁组件设置于冷却池内并且能够沿矩形靶所在平面方向往复运动；冷却池在远离开口端的底端设有阴极电极、冷却水进水管及冷却水出水管。有益之处在于磁组件在冷却池内作往复运动，从而使横向磁场在靶平面上均匀分布；采用全新的磁钢排列设计，使得均匀磁场的范围得以扩展至磁组件最大横移位置的外侧，从而增大了均匀溅射面积，提高了对靶材的有效利用。另外，本实用新型的冷却水直接与...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。