技术编号:3338287
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种镀膜装置,其至少包括一支撑架、多个放置并固定晶片的载盘,其特征在于所述支撑架上设置多条轨道,轨道端部置有固定件,所述载盘边缘与轨道吻合,通过固定件固定于支撑架形成伞状载体;所述载盘包括放置晶片的晶片固定区和固定晶片的抽真空装置。利用上述镀膜装置可降低人工操作对晶片的污染,减少上下晶片的操作时间,同时可拆卸式载盘便于存放和转移。专利说明一种镀膜装置 [0001]本实用新型属于半导体制造领域,尤其涉及一种通过真空固定晶片并可拆解的晶片镀膜装置。 背...
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