技术编号：3338547
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种能够降低生产成本的PECVD装置。该装置包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，所述真空沉积室上设置有开关装置，所述开关装置包括底座，所述底座的上表面设置有可移动平台以及第一驱动装置，所述可移动平台的上表面设置有可移动式支架以及第二驱动装置，所述可移动式支架上固定有支撑杆，所述支撑杆的上端固定在炉门上。由于该开关装置采用平移的方式，相比于旋转打开炉门的方式，其第一驱动装置承受的负荷较小，因而，不容易损坏第一驱动装置，能够延长...
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