技术编号:3338566
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种抛光机定盘盘面的修复装置,包括抛光机定盘和与所述抛光机定盘配合使用的喷淋机构和研磨机构。其定盘可以多次修复,既保证抛光晶片合格率,又有利于重复利用,避免资源的浪费。该工艺修盘时会产生少量的废液,通过集水槽结构的设置,可将抛光废液以及研磨盘废液收集后集中处理,避免了对环境的污染。通过机械臂实现自动操作,可使研磨盘移动幅度较广,使修复的盘面范围较广,可修复盘面的任意位置。采用该装置修复后的盘面可在一段较长时间内使抛光后晶片的质量稳定,符合客...
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