技术编号:3339022
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金刚石自支撑膜应用。特别是提供了一种金刚石自支撑膜表面平整化的方法。背景技术金刚石是碳的同素异形体,独特的天然面心立方晶格的晶体结构,使它具有优异的力学、热学、光学、电学和声学特性,特别似乎硬度最高,显微硬度可达10000kg/mm2,是制作切削工具的极佳材料,结合优异的光学性能成为光学窗口的最佳材料,并得到了广泛应用。但金刚石膜在生长过程中往往会产生厚度不均匀、晶粒大小不一、内部应力和表面凸凹不平等缺陷,这些缺陷严重制约了金刚石膜的广泛应用,因...
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