技术编号：33411983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及微电子机械系统技术领域，尤其涉及一种红外热电堆传感器。背景技术.近些年来，mems红外热电堆传感器以其灵敏度高、测温范围广以及体积小等优点得到快速普及，产品涉及消费电子、家居医疗、工业生产等众多领域。大量的需求既是机遇，亦对产品性能提出更高的要求，因此响应率高、体积小的热电堆传感器应运而生。.通常，热电堆传感装置主要由核心部件热电堆和吸收层构成，在热电堆结构不变的情况下，吸收层的面积大小直接与器件的响应率成正比。目前常用的红外热电堆传感器包括基底、吸收层和若干根热电偶，热电...
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