技术编号:3341818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高硬度的无定形碳膜。所述无定形碳膜用于涂敷工具、模具、机械零件、电气和电子元件、光学元件,等等。背景技术 由于其机械性能以及化学稳定性,碳膜已被用作涂层材料,用于提高多种零件的耐磨性和耐久性。在现有技术中,含碳膜包括金刚石膜、石墨膜、无定形碳膜,等等。它们的制造方法和特性如下。金刚石膜一般通过热丝CVD法、微波等离子CVD法等方法合成。合成温度达到700℃的高温或者更高。进行这种合成时引入约1%的碳氢化合物气体,如甲烷,以及大量的氢气(约99%)...
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