技术编号:3342331
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明专利涉及的是一种复合薄膜的制备方法,具体是。背景技术类金刚石碳(DLC)膜因兼具一系列优异的力学、化学和摩擦学特性等而受到广泛关注。然而,DLC薄膜通常具有较高的内应力且韧性较差、摩擦性能对环境湿度敏感性强,实际工作中的摩擦学应用受到了制约。对DLC薄膜进行元素掺杂,不仅能够有效降低其内应力,还可同时改善其他性能,如力学性能、热稳定性等。其中,通过金属掺杂行程的金属碳化物纳米晶分散于非晶碳骨架中,能够避免滑动过程中微裂纹的萌生和扩散,显著提高碳膜的韧...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。