铝-氮-碳选择性吸收膜制备吸收膜的方法技术资料下载

技术编号:3342673

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本发明涉及一种太阳能选择性吸收膜及溅射法沉积镀膜方法,特别是用磁控反应溅射铝靶制备太阳能选择性吸收膜方法。太阳能的利用取决于被照射的物体表面的特性,现有的太阳能真空集热器的真空管的性能直接与真空管内吸收膜的光学特性有关,它要求膜层具有对太阳光谱范围的吸收率要高,而对红外发射率要低,这样才能很好地利用太阳能。现有的真空集热管由两根同心的玻璃管,其内管表面镀有一层太阳能选择性吸收膜,两管之间抽空封接而成。专利US4339484太阳集热器是将玻璃管放在溅射双靶(...
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