技术编号:3342848
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金属表面强化处理工艺。背景技术氮化钛(TiN)是一种非计量化合物,同时具有金属晶体和共价晶体的特点,熔点高达2955°C。作为表面涂层,TiN具有高硬度、耐磨损、耐高温、抗热震、摩擦系数低等优良的综合力学性能,是目前研究和应用最为广泛的薄膜材料之一。TiN作为涂层成功地应用于刀具、钻头等工具上,被认为是金属切削刀具技术发展史上的一次革命。TiN涂层的制备技术目前主要是物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。PVD法形成温度较低、涂层较薄,...
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