技术编号:3343360
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种钥钠合金管形靶材的生产技术,尤其涉及一种适用于光伏太阳能、半导体薄膜旋转溅射镀膜生产线的钥钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺。背景技术钥钠合金材料由于其优异的导电、抗氧化性能以及较低的镀膜应力,应用于生产光伏电池,具体指高效多晶薄膜光伏电池的吸收层,通常被称为CIGS光伏电池。现已证明钥钠合金镀膜材料可起到提高CIGS光伏电池效率的作用。为了提高靶材的利用率,人们越来越多地制造和使用管形靶材,即将靶材做成管形,管子里面装有静止不动的载体。溅射过...
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