技术编号:3343457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本文描述了挥发性且热稳定的有机氨基硅烷,更具体地,描述了烷氧基氨基硅烷,及其用于沉积化学计量或非化学计量的含硅薄膜例如但不限于氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、羰基化硅、氧碳氮化硅薄膜的用途。背景技术美国专利号4,491,669公开了纯的对应于通SRmSi (OR' )n(NR" R' " )p的混合烷氧基氨基硅烷的制备,其中R是氢、短链烷基或烯基或芳基;R"和R,"独立地是氢、短链烷基或芳基,至少一个不是氢;R'是短链烷基或芳基;且111、11和P是整数以使得m...
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