技术编号:3344469
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种能够对由铟系金属膜、铝系金属膜、及钛系或钼系金属膜组成的三重膜进行蚀刻的蚀刻液组成物,该铟系金属膜、铝系金属膜、及钛系或钼系金属膜用作半导体装置及扁平面板表示装置特别是用作TFT或OLED等的栅极、源极/漏极阵列配线。背景技术在扁平面板表示装置中,在印刷电路板上形成金属配线的过程通常由通过溅射形成金属膜的工序、在金属膜上涂覆光致抗蚀剂,并使该光致抗蚀剂曝光及显影,以在挑选的范围内形成光致抗蚀剂的工序及对金属膜进行蚀刻的工序构成。另外,还含有个...
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