技术编号：3344512
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一、所属领域本实用新型属于光学薄膜，特别涉及一种真空镀制光学薄膜的光学薄膜厚度在线实时监控仪。现有膜厚监测系统抗干扰能力、稳定性较差的主要原因有①.光源、光电倍增管及其供电源的工作稳定性显著影响着监测信号的稳定性。例如，光电倍增管高压的微小波动将引起超过一个数量级的输出波动。因此在监测系统中，它们的稳定性要求是非常高的。②.监测光直接照射到单色仪入射狭缝上的这种结构，使得系统的抗震动能力、排除杂散光能力比较弱，影响着监测信号的稳定性。③.模拟电路的设计，尤...
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