技术编号:33448072
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,尤其涉及一种真空炉。背景技术.在真空气压炉上安装机械式压力控制阀,炉内压力的变化达到设定值时自动启闭控制阀,实现炉内压力的控制。这种结构的缺点就是阀门灵敏度低,炉内压力的变化和阀门的启闭中间有一段响应时间,阀门工作压力的设定比较困难而且耗时,不易满足不同制品对炉内压力调整的要求。实用新型内容.本实用新型的目的在于提出一种真空炉,该真空炉能够及时控制真空炉体内的压力,减小真空炉体内的压力波动范围,且能够较好地满足不同制品对真空炉体内的压力的需求。.为...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。