技术编号:3345722
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及铝合金薄膜和该铝合金薄膜成形用溅射靶材,尤其是涉及构成液晶显示器的薄膜配线、电极、半导体集成电路的配线等的高耐热性、低电阻的铝合金薄膜,以及适合该铝合金薄膜成形用的溅射靶材。背景技术 近年来,液晶显示器以笔记本电脑的显示装置为代表大量使用以取代所谓的阴极射线管(CRT),其液晶显示的大画面化、高精细化的进展惊人。因此,在液晶显示器领域,薄膜晶体管(以下简称为TFT)型的液晶显示器需要正在增加,对其液晶显示的特长要求也更为严格。特别是,随着液晶显示...
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