技术编号：33469144
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及精密仪器技术，更具体地说，它涉及一种六氟化硫分解产物质谱检测仪。背景技术.六氟化硫电气设备数量庞大、现场检测需求量大，需要使用便携式质谱仪来完成现场检测工作。在实际应用中，六氟化硫分解产物质谱检测仪小型化设备，因集成化设计存在故障排查及维修不便等问题。发明内容.鉴于此，本发明提出了一种六氟化硫分解产物质谱检测仪。.本发明的技术方案如下：一种六氟化硫分解产物质谱检测仪，包括第一层模块、第二层模块以及第三层模块；所述第一层模块包括真空系统和六氟化硫分解产物质谱仪主体，所述真空系统...
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