技术编号：3348292
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基材表面的涂层，特别是涉及一种用于工具及机械零件表面的氮化铬、氮化钛铝硬质多层纳米膜涂层。背景技术众所周知，以氮化钛(TiN)为代表的物理气相沉积技术已在工业中应用 了几十年，较大地提高了工模具的性能，近十年来，又延伸扩展了多种膜成份。 例如碳氮化钛(TiCN))、氮化钛铝(AlTiN)、氮化铝钛(TiAlN)或氮化钛一氮 化钛铝(TiN—AlTiN)等。它们各具材料本身的固有特性，如AlTiN硬度高，且 耐高温，^0擦系数较大，韧性差；Ti...
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