技术编号：3348304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在水环境中具有极低摩擦系数和磨损率的超润滑掺硅类金 刚石薄膜的制备方法。 背景技术现代高新技术产业的快速发展对装备在精度、灵敏度、可靠性和传输效率 方面的要求越来越高，因而对具有极低摩擦磨损性能的超润滑技术也提出了越来 越迫切的需求。类金刚石薄膜作为一种新型的润滑薄膜材料，具有硬度高、摩擦 系数小、耐磨寿命长、耐腐蚀性强、化学稳定性好等优异的性能，在苛刻环境中 用作防护薄膜以及在精密机械、微系统、空间环境等相关领域用作润滑薄膜材料 显示了巨大...
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