技术编号:3349289
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种合金涂层的制备方法,特别是。多弧离子镀是一种设有多个可同时蒸发的阴极弧蒸发源的、独特的物理气相沉积技术,该技术具有沉积速率快、膜层组织致密、附着性强、均匀性好等优点。目前采用多弧离子镀技术制造合金涂层的主要困难是难以得到符合成分要求的合金涂层成分,即所制备的合金涂层与原要求的合金涂层的成分含量之间存在着明显偏差,其绝对偏差(指所制备的合金涂层中某一元素的百分含量与原要求的合金涂层中该元素的百分含量之差)甚至达到10%以上,而相对偏差(某合金元...
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