技术编号:3349475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多组元硬质反应梯度膜的制备方法,特别是多弧离子镀多组元硬 质反应梯度膜的制备方法,比如。 背景技术多弧离子镀是一种设有多个可同时蒸发的阴极弧蒸发源的真空物理沉积技术,具有 沉积速度快、膜层组织致密、附着力强、均匀性好等显著特点。该技术适用于硬质膜及 硬质反应梯度膜的制备,并在氮化钛,氮化钛铝硬质反应梯度膜的制备方面获得成功 的应用。氮化钛铝,氮化钛铬,氮化钛锆等硬质复合膜由于硬度高、摩擦系数小、耐 热性强等各自特性而比氮化钛膜更具有开发应用前...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。