技术编号:3350116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及反射膜,尤其是涉及一种电子束制备Hf02/Si02多层反射膜的方法。背景技术激光约束聚变激光驱动器是解决未来能源的关键系统,意义非常重大。目前世界上激光约束聚变驱动器是钕玻璃固体激光器,基频波长为1053nm,倍频和三倍频激光为526nm和351nm。其中用于驱动器光学反射镜的反射膜采用氧化铪和氧化硅多层反射膜。在当前的激光驱动器高反射膜制备中采用电子束反应蒸发技术制备其高反射膜。光学薄膜是激光器系统最薄弱环节,是激光驱动器提高输出功率或能量的技...
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