技术编号：3350237
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多级微反射镜的制作方法，特别涉及一种厚度调节混合制作用于可见及红外波段的多级微反射镜的方法。 背景技术多级微反射镜作为一种光的反射器件，在光学系统中有着越来越广泛的应用，如光谱 分析、光束整形和光纤耦合等。随着光学系统向体积小、结构紧凑方向发展，光学系统中的器件微型化成为光学器件的 一个重要研究课题，微型光学器件设计与制作水平直接决定该光仪器的性能。多级微反射镜 可以通过二元光学技术在衬底上进行多次光刻和多次腐蚀(干法或湿法)在石英等多种材料...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。