技术编号：33507140
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及柔性传感器结构设计及制造技术领域，尤其设计一种互锁一体化微结构的压力传感器及其制造方法。背景技术.电子皮肤的一个长期挑战是在严苛的使用环境下稳定性较差，这是因为传感器内部接触界面在长时间、大压力载荷下容易失稳。人体皮肤由表皮、真皮和皮下脂肪层组成，具有良好的连接界面，相比之下，传感器由于是堆叠封装而成，存在间隙和连接不充分的部分，这导致机械稳定性受损。因此，在复杂的机械变形下，层的分层或分离很容易发生，在很大程度上破坏了电子皮肤的性能。因此，迫切需要在电子皮肤和传感器-机器人集成...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。