技术编号：33507508
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法.本发明涉及真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法。.经典的氦气真空泄漏检测装置，例如英福康公司(inficon)的包括一个真空控制单元和一个质谱仪形式的集成氦气测量装置。该装置包括一个真空泵，用于通过单独的真空管路连接到测试室或测试对象。其中，真空控制单元、氦气质谱仪和真空泵在一个共用外壳内形成一个单元。.在另一种氦气真空检漏装置、英福康公司的中，扇形场质谱仪和带有凸缘连接的阀块的涡轮分子泵形成集成在测试系统中的氦气检测器单元。该测试系统包括测试...
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