技术编号:3350829
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种连续真空过渡室,具体是一种具有线性真空动密封及x射线防护功能的连续真空过渡室。技术背景大部分的电子束加工装置,是将被加工件封闭在一个独立的密闭真空仓内进 行的。这种装置在每次加工完一件或一批工件后要放大气将工件取出,然后装 入新的工件后再抽真空,达到电子束加工所需的工作真空后再进行加工,工作 效率低。部分电子束连续加r装置/生产线,如连续电子束钢带真空镀膜生产线,采 用了压辊式的连续动密封方式,由于安装压辊需留出支撑位置,因此留出的漏 隙大,...
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