技术编号:33508718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及晶体炉领域,具体涉及了一种提升晶体炉换热效率的冷却屏,本实用新型还涉及了采用该冷却屏的晶体炉。背景技术.在晶体炉领域中,单晶炉是用于将多晶硅进行加热熔化,通过直拉法生长出单晶棒的关键装置。在单晶炉工作时,在单晶棒向上移动时需要对其进行冷却,使得单晶晶棒快速完成冷却固化成型,进而提高了单晶棒的生长效率。.具体来说冷却屏作为单晶炉的冷却装置,其结构通常包括靠近生长单晶棒的内筒体,位于内筒体外周的外筒体,通过在内筒体与外筒体之间设置水冷通道(分别连接进水管和出水管),通过水冷通道...
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