技术编号:3350891
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。—般来说,本公开涉及回收钌(Ru)和Ru基合金材料的方 法,以及涉及从回收的Ru和Ru基合金材料制成的产品。本公开在回 收Ru和Ru基合金沉积靶例如溅射靶方面特别有用,并且特别有用于 从回收的Ru和Ru-基合金材料的粉末制成的靶。背景技术钌和钌基合金材料日益用于大量先进技术产品的制造,例 如作为高性能、高面记录密度反铁磁耦合(anti-ferromagnetically coupled, "AFC")磁记录介质中的耦合层以及作为高集成密度 (integra...
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