技术编号:3351910
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空机械引入装置,特别涉及一种将外界旋转动力传递至真空系 统内部的元件,以驱动该内部元件旋转的真空机械引入装置。背景技术现有半导体或光电元件的制程,常需要使用真空系统进行镀膜作业,而真空系统 的腔体内部为较高度的真空环境,并且要与外界大气环境隔绝,因此要操作真空系统内部 的元件时,必须通过一真空机械引入装置来达成,而用于操作旋转的引入装置称为旋转式 真空机械引入装置,其结构主要包括一装设在该真空腔体的外部的中空安装座以及一穿 伸通过该安装座的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。