技术编号:33521626
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及微制造技术领域,特别涉及一种用于提高微注塑模具厚度均匀性的电铸装置及方法。背景技术.随着微流控芯片需求的与日俱增,微注射成型技术已经越来越多地出现在微纳科学技术论坛和重大商业展会上,预示其广泛的市场前景。微电铸由于具有操作简单、复制精度高、没有切削力、刀具磨损和热能对工件表面的影响,被广泛用于制作微注塑模具。但是电铸技术也有固有的一些问题,比如电场在铸层边缘的集中使得铸层中间区域厚度与边缘厚度不一致,严重时铸层边缘会形成“边缘瘤”导致电铸无法正常。.围绕这一问题,目前提出了许多...
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