技术编号:3352387
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多线切割技术,特别是涉及一种金刚线开方机的张力调整机构。 背景技术线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运 动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割目 的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高,产能高,精度高等 优点。在对工件的切割过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线 网,而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给,并在压力泵在的作用...
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