技术编号:3353182
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及FTO透明导电薄膜的制备方法,特别涉及在低温衬底上制备FTO透明 导电薄膜的方法。背景技术透明导电氧化物(Transparent Conducting Oxides-TCO)薄膜因其同时具备高光 学透过率和低电阻的性能而在当今及未来的多种领域中有着极其广泛的应用,如太阳能电 池、平板显示器、传感器以及各种光电或电光器件。TCO薄膜的厚度一般在几十纳米至微米 量级之间,因此该类薄膜往往需要附着在透明基底上,玻璃是使用最为广泛的透明基底。制 备有透明...
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