技术编号：33538661
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及精密执行器技术领域，尤其涉及一种近零刚度微纳电机。背景技术.可以在毫米级行程上实现纳米级扫描跟踪运动精度的电机(包括音圈电机、磁阻电机、混合磁阻电机等)是高端精密制造和检测装备(如光刻机、微纳d打印、膜厚检测等)的核心部件之一。以asml高端光刻机为例，其运动台微动台定位精度已经达到亚纳米级别，而加速度达到m/s，接近极限。当下一代光刻机的套刻精度和产率需要进一步提高时，微动台需要有更高的运动精度和速度、加速度，这对微动台电机的运动精度极限和推力密度极限提出了更高的要求...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。