技术编号:3354050
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蒸镀装置,特别涉及一种离子辅助镀膜的蒸镀装置。 背景技术蒸镀是一种物理气相沉积技术,即以物理的方式进行薄膜沉积。具体地,其通过离 子束或电子束对膜料进行加热,使膜料变成气态,而沉积在待镀基材表面以形成一蒸镀膜 层。蒸镀技术因成膜过程简单,工艺易控制而得到广泛应用,例如光学元件表面反射膜层、 装饰件表面膜层等。蒸镀过程需要在一蒸镀装置中进行,所述蒸镀装置通常包括一蒸镀腔室、一用于 承载待镀膜基材的传统的伞架、一位于伞架正下方的用于承载膜料的坩埚...
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