技术编号:3354136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硅棒精细加工设备,涉及一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置。 背景技术单晶硅是制造太阳能电池的主要原料,单晶硅方形棒在制成太阳能电池片前,为 了保证太阳能电池片尺寸的一致性和提高硅棒切片时的出片率,需要对方形硅棒的四个平 面进行磨削,并达到一定的尺寸精度和表面粗糙度要求。目前使用的平面磨削装置主要是 用立式铣床改造,将铣刀改为砂轮对方形硅棒的四个平面进行磨削,每次只能加工一根硅 棒,并且安装找正时间长,工作效率低,不能满足精密、高效、大规模生产的需...
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