技术编号:3354226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空磁控溅射镀膜,特别是一种大型复 杂曲面制件磁控溅射镀膜机。技术背景近些年来,由于国内航空航天工业技术、天文技术的不断发展, 在很多高端装备和装置上,需要安装内表面需要真空镀膜的大型复杂曲面的零 部件,要求真空镀膜机具有对复杂曲面零部件进行均匀镀膜的能力,比如天文 望远镜镜片、隐身战斗机中关键部件透明座舱整流罩,不但要能够镀多层膜,而且要求膜层均匀性达到3 5%。部件镀层的质量水平直接关系所应用设备的 性能和水平。这些零件或是复杂曲面或是球...
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