技术编号:33548623
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体是一种箱式真空镀膜机的进出料机构。背景技术.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中。.现有的真空镀膜机在进行基片镀膜时,需要对待镀膜的基片进行供料处理,及将靶材送入镀膜机内的基片上部从而进行基片镀膜处理,现有的靶材送料方式是...
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