技术编号:3355381
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种制造金属图案的装置。背景技术涂层技术近十年来得到特别迅速的发展,其应用范围也逐步扩大,用于防护、抗 氧化、超硬耐磨、导电、导热、传感及装饰等各个方面。做为涂层技术之一的物理气相沉积 (PVD)方法,在硬质合金刀片、工模具、涡轮叶片、传感元件、触点、玻璃、半导体及超导材料 等方面也得到广泛的应用。物理气相沉积方法主要是用蒸发沉积、溅射沉积或离子镀等方 法将气相的涂层材料或与某种气体化合后沉积到基体上。这种方法的优点是沉积温度低、 具有气态金...
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