技术编号:3356184
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光学镀膜,尤其涉及一种用于光学镀膜膜厚监控系统的多片比较片换位机构。 背景技术在现有技术中,针对非规整膜系的需要,镀膜膜厚监控系统一般是通过一个或多 个比较片的切换,分别用不同的监控波长信号对膜系各层的光学厚度进行监控。随着膜系 的复杂化设计,要在一个或多个比较片上完成整个膜系的控制是无法实现的,必须在十几 个或几十个比较片上进行切换才能完成,因此要求监控系统的比较片上能够容纳和切换更 多的监控点。现在的镀膜机上都装备了比较片换位机构,其通常...
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