技术编号:3356569
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种镀膜靶面监控装置,尤其涉及一种对磁控溅射镀 膜靶面进行监控的装置。背景技术镀膜玻璃如今已广泛应用于触摸屏领域和液晶显示领域,玻璃镀膜技 术也日新月异。磁控溅射镀膜广泛应用于玻璃镀膜,特别是在大面积玻璃 镀膜工业上,是主要镀膜方式。但是,磁控溅射镀膜技术中,要控制反应 溅射,就要控制反应气体的流量。常用的控制方式有"中毒模式"、电压控 制等。而大面积玻璃镀膜对膜层的均匀性要求很高,尤其是高端产品像触摸屏用高透ITO玻璃,对方阻、透过率、色差...
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