技术编号：3356830
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于传送沉积系统中的基材的领域。特别地是，本实用新型是揭示用于改善一基材沉积系统制程成效的装置及其方法。 背景技术光电伏特装置、光电转换装置或太阳电池为可将光(特别是阳光)转换成直流电 力的装置。为了廉价大量生产，薄膜太阳电池是想要的，由于其允许将玻璃、玻璃陶瓷或其 它坚硬或弹性基材当作基底材料(即是基材)使用，取代结晶或多晶硅。太阳电池结构(即 是负责或能够发挥光电伏特效果的层序列)沉积在薄层中。 该等层的沉积通常是在一 CVD系统中完成。反...
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