技术编号:3356948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于在真空下实施衬底的表面处理的设备。背景技术处理物体的表面或用薄膜涂覆物体的表面以便赋予物体改进的特征是本领域长 期以来已知的方法。除了为纯粹装饰性的应用而采用表面处理之外,工具、机器零件和电子 元件以及其他的物体也可以进行表面处理。这种处理进一步使用在医疗和光学环境中。 大多数表面处理过程在真空下进行。这种过程的示例包括所谓的PVD、 CVD和溅 射,以及其他用于清洁表面的过程。 现有技术包括所谓的用于在真空下对衬底进行表面处理的集群...
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