技术编号:3357690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种化学机械研磨垫修整器,更具体地说,是一种对研磨垫修整器的活塞体驱动方式进行改进的研磨垫修整器。 背景技术为了增加积体电路的集积密度,积体电路的每一层都必须达到全面的平坦度,而 化学机械研磨技术便是积集密度得以快速增加的关键技术;化学机械研磨技术通常是由晶 圆载具将一晶圆施压置于涂有研磨液的研磨垫上,晶圆和研磨垫间的相对运动来实现研磨 的目的,研磨垫为多孔吹塑成型的聚氨脂,其上浸润有研磨液,研磨过程中,研磨液中的研 磨粒子及研磨副产物会埋入...
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