技术编号：3358911
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种烘干加热装置，尤指一种防止键合丝退火后粘丝的冷却液烘干装置。背景技术随着大规模、超大规模集成电路的发展，对封装材料的要求越来越高，降低成本的 同时也要求高性能。半导体器件为降低作为连接引线用的微细金丝的高额费用，对键合金 丝线径要求越来越细，目前，超微细键合金丝已经达到17微米以下，金丝微细化不仅可降 低所需金丝费用，而且适用于高密度封装。然而这种超微细化的要求也对金丝的各项性能 指标、少断丝、以及放线顺畅、不粘丝提出了一个新的挑战。在现...
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