技术编号:3360684
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于连续地形成多层膜的多层膜溅射设备,以及一种利用该多层膜溅射设备的多层膜形成方法。背景技术目前的硬盘中的垂直记录介质使用组成中含有诸如CoCrPt-SiA或者 CoCrPt-TiO2等氧化物的记录层。将来,期望垂直记录介质具有诸如作为高Ku材料(High-Ku material)的Fe/Pt或Co/P等多层膜结构。然而,在确保一周以上的维护周期的条件下,要求阴极单元具有若干个层,以实现多层膜结构。专利文献1中公开了用于形成这种多层膜的溅射设...
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