技术编号:3360705
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在真空条件下运行的薄膜汽相沉积系统。 背景技术目前,小型化和新材料特性的开发是现有的工业生产模式的主要瓶颈,而作为突破上述瓶颈的途径,薄膜沉积是众多快速发展的领域之一。微电子领域的应用和设备是最广为人知的例子,但越来越多的基于同样原理的应用被应用到其他领域,例如集成光学、 光电、膜分离、催化表面、或生物相容且相互表面,此处仅列举了一些实例。对于这些领域来说,不管是新兴的还是存在很久的,需要越来越复杂的材料以满足所需设备的规格。通过控制材料化学成分...
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