技术编号:3360737
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种卷绕式真空处理装置,其可以在真空环境中连续送出质地柔软的被处理对象物并使送出的被处理对象物贴紧筒式辊,再对筒式辊上的被处理对象物进行规定的处理,之后卷收经过处理的被处理对象物。背景技术在现有技术中,人们公知如下一种薄膜形成装置一边利用辊子连续送出和卷收磁记录介质,一边在该磁记录介质的基体上形成薄膜。在上述薄膜形成装置中,一边使磁记录介质贴紧正在转动的筒式辊而进行传送,一边在滚筒和面向滚筒设置的第一阳极之间利用反应气体产生等离子。由此可在磁记录...
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